CEA Tech, avec son institut Leti, développe des applications de micro-nano technologies dans le domaine de la biologie, de la santé, de l’environnement et de la sécurité, mais également dans des domaines connexes en agro-alimentaire et bio production. Ainsi, depuis 15 ans au sein du laboratoire Chimie, Capteurs et Biomatériaux du Département Santé du Leti, le CEA a développé un savoir-faire unique en fonctionnalisation de surface, basé sur le dépôt automatisé de couches organiques fines servant d’interfaces fonctionnelles entre le matériau et son environnement. Un catalogue d’une centaine de procédés de dépôts avec différentes propriétés physico-chimiques a été créé et autant de brevets déposés. L’objectif est d’intégrer l’activité de fonctionnalisation de surface dans le processus de fabrication des micro et nano systèmes en prenant en compte les contraintes de fabrication. Pour cela, il faut pouvoir adapter les dépôts à la nature des composants. Ainsi, des équipements pleine plaque de dépôt sans solvant sont indispensables car ils permettent un dépôt compatible avec les principes de chimie verte, à basse température (35°C), conforme et sans altérer les matériaux des dispositifs. Afin de garder le leadership sur la fonctionnalisation de surface et continuer à mener à bien ces programmes industriels et institutionnels, le CEA souhaite remplacer un équipement de dépôt en phase vapeur, obsolète et vieillissant, par un de nouvelle génération.