Le projet CryoMEM adresse la problématique du stockage de l'énergie, qui est l'objet du DPS3. Les objets connectés et les systèmes embarqués/autonomes de manière plus générale réalisent un nombre croissant de fonctions, tout en étant davantage miniaturisés. Cela passe par l'augmentation du niveau d'intégration, tendance que doivent suivre également leurs sources d'énergie. Ces dernières sont principalement des microbatteries ou encore des microsupercondensateurs qui sont fabriqués avec une succession d'étapes dont certaines sont issues des microtechnologies. Depuis quelques années, le GREMI est impliqué dans des projets visant à mettre au point de tels dispositifs : -Projet APR BLaDES : réalisation de microbatteries (2011-2014) -Projet Lavoisier STOCKE-DEPOYDE : réalisation de microbatteries (2016-2017) -Projet SuSSCRYPP : réalisation de capacitances 3D à partir de films homopolymères et de cryogravure (2014-2017) Les deux derniers, encore en cours à l'époque du dépôt du préavis d'opportunité du projet CryoMEM, se sont terminés fin 2017 mais un projet APR, « SCAP3D vient tout juste de débuter, et ce pour une durée de 2 ans. Il vise à concevoir des microsupercondensateurs 3D, ce qui s'intègre parfaitement aux objectifs du DPS3. Pour ce type d'application, le GREMI apporte ses compétences en gravure plasma cryogénique. Les procédés de gravure profonde étudiés et mis au point au GREMI permettent de réaliser des substrats 3D en silicium qui sont la base de ces microsources...