El proyecto CryoMEM aborda la cuestión del almacenamiento de energía, que es objeto del DPS3. Los objetos conectados y los sistemas incrustados/autónomas generalmente realizan un número creciente de funciones, mientras que son más miniaturizados. Esto requiere un aumento del nivel de integración, que también debe ir seguido de sus fuentes de energía. Estos últimos son principalmente microbaterías o microsupercapacitores, que se fabrican con una serie de pasos, algunos de los cuales provienen de microtecnologías. En los últimos años, el GREMI ha participado en proyectos destinados a desarrollar estos sistemas: —El proyecto APR Blades: realización de microbaterías (2011-2014) -Proyecto Lavoisier STOCKE-DEPOYDE: realización de microbaterías (2016-2017) -SuSSCRYPP proyecto: realización de capacitancias 3D de películas homopolímeros y criograbadas (2014-2017) Los dos últimos, aún en curso en el momento de la presentación del anuncio de oportunidad del proyecto CryoMEM, finalizaron a finales de 2017, pero un proyecto APR, "SCAP3D acaba de comenzar, por un período de 2 años. Su objetivo es diseñar microsupercapadores 3D, que se adaptan perfectamente a los objetivos del DPS3. Para este tipo de aplicación, GREMI aporta su experiencia en grabado plasmático criogénico. Los procesos de grabado profundo estudiados y desarrollados en GREMI permiten la realización de sustratos de silicio 3D que son la base de estas microfuentes...