1.1.1. Kurze Beschreibung der ProjektzusammenfassungNanokondensatoren (NC) sind in Mikro- und Nanogeräten weit verbreitet. Der NC-Produktionsmarkt entwickelt sich rasant und wird sein Entwicklungstempo mindestens in den nächsten zehn Jahren fortsetzen. Lettische Hersteller haben die Möglichkeit, NCs herzustellen, aber dies ist noch nicht geschehen. Ziel des Projekts: Entwicklung innovativer Technologien für die Herstellung von NC-Dielektrische Schichten, die die NC-Produktionskosten senken, um die Wissensintensität, die Wettbewerbsfähigkeit der lettischen Wirtschaft zu erhöhen und die nachhaltige Entwicklung der lettischen Wirtschaft zu fördern. Ein nichtwirtschaftliches Kooperationsprojekt wird umgesetzt – der Projektantragsteller ist die Technische Universität Riga, die Kooperationspartner der Universität Lettland und die Halbleitergerätefabrik JSC „ALFA PRAR“. Es wird eine industrielle Studie durchgeführt, die u. a. folgende Tätigkeiten umfasst: 1) NC und ON...NO Probenproduktion mit N...N Schichten, die im selben Reaktor synthetisiert werden; 2) Charakterisierung der Eigenschaften von N...N, ON...NO und NC, einschließlich nach Bestrahlung und Heizung; 3) NC mit N...N Schichten Herstellung von Technologie Prototypenbildung in Laborumgebung. Das Projekt ist relevant für die Bereiche Physik (1.3), Materialwissenschaften (2.5) und Nanotechnologie (10.2). Ergebnisse: 1) Streuung der Ergebnisse in Form von wissenschaftlichen Publikationen, Konferenzen, Seminaren; 2) ein Prototyp der NC-Fertigungstechnologie, die in einer Laborumgebung erstellt wurde; 3) Patentanmeldung für die Methode der Erlangung der N...N-Schicht. Zielgruppen: wissenschaftliche Einrichtungen, Wissenschaftler, Doktoranden, Kaufleute. Projektlaufzeit vom 02.01.2017 bis zum 30.12.2019 Die förderfähigen Gesamtkosten des Projekts belaufen sich auf 648 605,05 EUR, darunter 551 314,29 EUR aus dem EFRE und 48 645,38 EUR aus dem Staatshaushalt. Schlagwörter: Nanokondensator, Silizium-Nitrid-Nanschicht, strahlungsgenerierte Defekte.1.1.2. Die vollständige Beschreibung des Projektzusammenfassungsmarktes entwickelt sich rasch und wird sein Entwicklungstempo mindestens in den nächsten zehn Jahren fortsetzen [1]. Es gibt eine steigende Nachfrage nach thermisch stabilen [1] und strahlungsbeständigen NCs. Silizium-basierte Technologien werden weit verbreitet, um NCs zu produzieren. Der Eintritt lettischer Hersteller in den NC-Produktionsmarkt kann den Umsatz der lettischen Wirtschaft für alle 3-4 Wochen um mindestens 0,23-10 Mio. EUR steigern. Die NC-Dielektrische Schicht wird in der Regel durch Stapeln mehrerer Si3N4 (N) Nanoschichten erhalten und von SiO2 (O) auf beiden Seiten umgeben, was zu einer ON...NO Struktur führt. N...N Schichten werden in mehreren technologischen Reaktoren gewonnen. Die NC-Produktionskosten können durch die Gewinnung von N...N-Schichten pro Reaktor gesenkt werden. Ziel des Projekts: Entwicklung innovativer Technologien für die Herstellung von NC-Dielektrische Schichten, die die NC-Produktionskosten senken, um die Wissensintensität, die Wettbewerbsfähigkeit der lettischen Wirtschaft zu erhöhen und die nachhaltige Entwicklung der lettischen Wirtschaft zu fördern. Es wird ein nichtwirtschaftliches Kooperationsprojekt durchgeführt: der Projektantragsteller ist RTU, Kooperationspartner LU und AS „ALFA PRAR“. Es wird eine industrielle Studie durchgeführt, die u. a. folgende Tätigkeiten umfasst: 1) NC und ON...NO Probenproduktion mit N...N Schichten, die im selben Reaktor synthetisiert werden; 2) Charakterisierung der Eigenschaften von N...N, ON...NO und NC, einschließlich nach Bestrahlung und Heizung; 3) NC mit N...N Schichten Herstellung von Technologie Prototypenbildung in Laborumgebung. Das Projekt ist relevant für die Bereiche Physik (1.3), Materialwissenschaften (2.5) und Nanotechnologie (10.2). Ergebnisse: 1) Streuung der Ergebnisse in Form von wissenschaftlichen Publikationen, Konferenzen, Seminaren; 2) ein Prototyp der NC-Fertigungstechnologie, die in einer Laborumgebung erstellt wurde; 3) Patentanmeldung für die Methode der Erlangung der N...N-Schicht. Das Projekt ist relevant für die Bereiche Physik (1.3), Materialwissenschaften (2.5) und Nanotechnologie (10.2). Zielgruppe des Projekts sind wissenschaftliche Einrichtungen, Wissenschaftler, Doktoranden, Kaufleute. Das Projekt wird die internationale Wettbewerbsfähigkeit der wissenschaftlichen Einrichtungen, ihrer Mitarbeiter und Händler fördern und Studenten anlocken, um die Erneuerung und Kontinuität des wissenschaftlichen Personals Lettlands zu fördern. Die förderfähigen Gesamtkosten des Projekts belaufen sich auf 648 605,05 EUR, darunter 551 314,29 EUR aus dem EFRE und 48 645,38 EUR aus dem Staatshaushalt. Laufzeit des Projekts: vom 01.03.2017 bis zum 29.02.2020
